最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター
オペレーターはワークのセットと取出しのみで、後の作業は全て自動運転いたします。テープ/フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献いたします。
■特長
・自動貼付け、オートフィルムカット機構。
・貼付け圧力/可変。
・貼付けスピード可変。
・貼付けローラー自動平衡機能。
・オプション：ヒーターユニット、静電気対策。
・テーブルトップタイプ
■メリット
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。
・自動貼付け、オートフィルムカット機構。
・貼付け圧力/可変。
・貼付けスピード可変。
・貼付けローラー自動平衡機能。
・オプション：ヒーターユニット、静電気対策。
・テーブルトップタイプ
■メリット
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FM-903S |
| 用途／実績例 |
「ウェハ」「ダイシングフレーム」「各種テープ」を貼り付ける装置。 ■用途： 【ダイシング用途】 ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます 【保護（バックグラインド／BG）用途】 ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。 【その他】 フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。（DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等） |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FM-903S | ウェハーサイズ：8インチまで、装置寸法：1,000mm（W）x 600mm（D）x 800mm（H） |
関連ダウンロード
フィルム貼付装置｜セミオートマウンター「FM-903S」
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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