モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8インチまでの対応も提供可能。
モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。
本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」となります。
※8インチまでの対応もご提供可能です。
EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。
拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。
またオートカット機能を標準で搭載しています。
テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。
拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。
■主な特長
0.1mmステップによる拡張ストローク設定
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
■カスタマイズ
安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様．．．等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。
0.1mmステップによる拡張ストローク設定
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
■カスタマイズ
安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様．．．等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | EX-300 |
| 用途／実績例 |
ダイシング／分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング／分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置 |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| EX-300 | 12インチまで、装置寸法：750mm（W）× 760mm（D）× 615mm（H） |
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