サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社/Thermo Fisher Scientific K.K.

事例:EQUINOX 100 X線回折装置によるSi上のNi薄膜の研究

最終更新日: 2023-11-28 14:48:30.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

ARL EQUINOX 100 X線回折装置(XRD)
ARL EQUINOX 100 X線回折装置(XRD) 製品画像
[X線源]
出力: 60 W(60 kV/1 mA)
オプション:30 kV/1 mA
マイクロフォーカス型X線源
(Cu、50 W/Co、15 W/Mo、50 W)

[検出器]
CPS(Curved Position Sensitive)検出器、
CPS180モデル
ガス検出器:アルゴン/エタン(85/15)
リアルタイム測定範囲:110°2θ
曲率半径:180 mm
最小記録可能角度:約1°2θ

[ゴニオメーター]
固定ゴニオメーター:可動部品なし
取得角度:0~110°2θ
非対称モードで測定

[ソフトウェア]
駆動およびデータ測定
リアルタイムでのディフラクトグラム表示
多重および自動での記録
ピーク探索
デコンボリューション:複数のプロファイル関数
結晶化度、セルパラメーター、微結晶サイズ、
格子ひずみ
相の同定と定量化
結晶構造解析
相転移
薄膜(GIXRD、反射率測定)
リートベルト解析

重量:約85 kg
寸法:高さ545 mm × 奥行580 mm × 幅680 mm

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