半導体・MEMS・電子デバイス一覧

光学用の多層膜を高均一かつ再現性に優れた成膜を行う事を目的に開発！

最終更新日： 2020-02-28 16:25:45.0

「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。

最終更新日： 2024-03-18 13:07:48.0

0.1kgの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置できる縦型設計

最終更新日： 2024-10-03 15:40:45.0

In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速成膜ALD装置

最終更新日： 2024-03-11 11:21:10.0

高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！

最終更新日： 2024-03-18 15:06:00.0

高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置

最終更新日： 2024-03-18 13:10:00.0

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

最終更新日： 2024-09-02 15:23:29.0

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加で高品位かつフレキシブルな成膜をする装置です

最終更新日： 2024-04-03 10:54:48.0

リモートソース型イオンビームスパッタ装置　リモートプラズマソースの開発メーカー

最終更新日： 2024-03-21 13:42:20.0

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