最終更新日:
2024-03-18 13:07:48.0
「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。
今後大きな需要が期待されるLiDAR用途など、多層化と高再現性が求められる高機能光学フィルターの安定生産に力を発揮します。
・シリンダー型カソードによる、ターゲット消耗による膜質変化の影響を廃した製膜
・リアクティブイオンソース搭載による、酸化膜の安定成膜
・最大４基のカソードの搭載による、幅広い多層膜の成膜
など、高品位な光学薄膜成膜に特化した装置です。
特徴
■傑出した光学多層膜の再現性
■優れた膜厚均一性
■シリンダー型カソードとスパッタアップとの組み合わせによる
膜質の改善と欠陥の無い成膜
■In-situモニタリングによる、成膜状態の連続監視
■完全に自動化されたプロセス制御
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
装置基本仕様
■シリンダー型カソードとターゲットの採用
▶ターゲット寿命は長く、その寿命末期まで成膜レートの変動は極小
■最大４基のカソードを搭載可能
▶各種ターゲットの組み合わせによる、幅広い光学特性フィルターの生産が可能
■リアクティブ成膜用イオンソースを搭載
▶成膜時のイオン照射による基板上での酸化膜・窒化膜の成膜が可能。
■大型基板への成膜
▶300mm もしくは 280×330×50 mm サイズの基盤（フラット、曲面）まで対応
▶基盤加熱機構も組み込み可能
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FHR Star EOSSシリーズ |
| 用途／実績例 | 【主要アプリケーション】 ■反射防止膜 ■バンドパスフィルター ■エッジフィルター ■ノッチフィルター ■誘電体ミラー ■ダイクロミックミラー ■ビームスプリッター ■偏光フィルター ■ウエアラブルディスプレイ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FHR.Star.600-EOSS | 精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置 |
| FHR.Star.500-EOSS | 精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置 |
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