東京電子株式会社

マイクロ真空計

最終更新日: 2020-07-03 16:00:11.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

マイクロ真空計
新技術を利用し、熱伝導方式のマイクロ真空計ではこれまで困難だった高真空の計測を実現。
数百ミクロン角の大きさで、ピラニ真空計の測定範囲をカバー

関連情報

マイクロ真空計
マイクロ真空計 製品画像
MEMS技術加工により、シリコン基板から熱分離された薄膜と熱電対からなるマイクロサイズの熱電対真空計です。
構造を工夫することによって低圧側の測定幅を広げてあるのが特長です。
また、約0.8mm角のChipなので微小空間の圧力測定が可能です。

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