【仕様】
■電子エネルギー:120eV
■フィラメント電位:100V
■フィラメント加熱電流/電圧=1.5A/3.0V
■E-Beam脱ガス電力=480V×10~30mA
■電子電流=1~4mA(10mA可能)
■偏向電極電位=155V(デフレクター)
■X線限界=約5×10-12Pa
■ベーキング温度:最大280℃
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■電子エネルギー:120eV
■フィラメント電位:100V
■フィラメント加熱電流/電圧=1.5A/3.0V
■E-Beam脱ガス電力=480V×10~30mA
■電子電流=1~4mA(10mA可能)
■偏向電極電位=155V(デフレクター)
■X線限界=約5×10-12Pa
■ベーキング温度:最大280℃
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。