【仕様(一部)】
■質量範囲:100,200,300amu
■検出器タイプ:FC/EM
■イオン化エネルギー:70eV
■フィラメントタイプ:Y2O3-Ir デュアルフィラメント
■感度:1.0 x 10-6 A/Pa以上(100amu FC Sensor)
■最小検出速度:1.8msec
■動作温度:200℃(FC),150℃(EM)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■質量範囲:100,200,300amu
■検出器タイプ:FC/EM
■イオン化エネルギー:70eV
■フィラメントタイプ:Y2O3-Ir デュアルフィラメント
■感度:1.0 x 10-6 A/Pa以上(100amu FC Sensor)
■最小検出速度:1.8msec
■動作温度:200℃(FC),150℃(EM)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。