【仕様】
■質量範囲: 100、 200、 300amu
■検出器タイプ: FC/EM
■イオン化エネルギー: 70eV
■フィラメント: Y203-Ir デュアルフィラメント(タングステン:オプション)
■感度: 4.5 x 10-6 A/Pa (MPH100: FC)
■最小検出分圧:2.7 x 10-13Pa (MPH100: EM)
■最小検出速度: 1.8msec(アナログスキャンまたは、選択ピークモード)
■動作温度: 200℃ (FC)、 150℃ (EM)
■ベーキング温度: 最大 300℃ センサー単体
■通信: TCP/IP イーサネット
■ソフトウエア: FabGuard Explorer ( Windows XP、 7、 8.1、10対応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■質量範囲: 100、 200、 300amu
■検出器タイプ: FC/EM
■イオン化エネルギー: 70eV
■フィラメント: Y203-Ir デュアルフィラメント(タングステン:オプション)
■感度: 4.5 x 10-6 A/Pa (MPH100: FC)
■最小検出分圧:2.7 x 10-13Pa (MPH100: EM)
■最小検出速度: 1.8msec(アナログスキャンまたは、選択ピークモード)
■動作温度: 200℃ (FC)、 150℃ (EM)
■ベーキング温度: 最大 300℃ センサー単体
■通信: TCP/IP イーサネット
■ソフトウエア: FabGuard Explorer ( Windows XP、 7、 8.1、10対応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。