最終更新日:
2023-06-07 00:45:40.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
フェムトオーダーの極微小リークが計測できる！
近年、半導体製造プロセスにおいて「3D構造化」や「チップレット」といった技術進化に伴い工程、材料の開発・評価が加速しています。そのような状況から品質保証の点で質量分析による残留ガスのリーク検査のニーズは非常に高まっています。例えばウェハのガラス基板中の気泡や各積層間の残留ガス等はデバイスの品質劣化に直結しますので、どんな微小なガスも検知する必要性があります。また、EVの促進、自動運転化が進む自動車業界においても車載デバイス、
MEMSセンサーなどに対するリーク検査のニーズは高まっております。デバイスやMEMSのチップは真空に封止されていますので、そこにガスが混入すると品質は一気に劣化します。そこでガスが混入しているかどうかのリーク検査が必要となるわけです。車載デバイスの品質は安全性に直結するため、自動車メーカー、デバイスメーカーが規定する値は非常に厳しいものがあります。実際にはE-15Pa・m3/s（He）という値を規定しているところもあります。東京電子の質量ガス分析システムWATMASS-MPH GA Systemは高精度質量ガス分析を実現しデバイスの品質管理に貢献をします。
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