■極・超?真空の?精度な質量分析
■表?分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験及び、微?気泡ガス分析
■?気圧分析(呼気、燃焼ガス、触媒反応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■表?分析
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■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
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