上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2018/02/03
他に比類なき高視野・高分解能を実現した、干渉型３Ｄレーザー走査顕微鏡（視野域：３０ｘ５０ｍｍ・分解能：５０ｎｍ） レーザ走査を用いた初めての干渉計測光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nｍの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7000）
サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
走査範囲は30ｍｍ×50ｍｍ、モニター上で拡大観察可能
セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7500）
円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-8000）
非接触で微細な干渉縞計測可能。
交換レンズは、5ｍｍ、10ｍｍ、26ｍｍ走査レンズ、特注可能
通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます
これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ 3D‐レーザ走査イメージャ
5×50ｍｍの範囲を３Ｄ形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です
関連情報
比類なき高視野・高分解能な干渉型３Ｄレーザー走査顕微鏡
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レーザ走査を用いた初めての干渉計測
光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nｍの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7000）
サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
走査範囲は30ｍｍ×50ｍｍ、モニター上で拡大観察可能
セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7500）
円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-8000）
非接触で微細な干渉縞計測可能。
交換レンズは、5ｍｍ、10ｍｍ、26ｍｍ走査レンズ、特注可能
通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます
これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ 3D‐レーザ走査イメージャ
5×50ｍｍの範囲を３Ｄ形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
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超広視野レーザ走査イメージヤ原理図（レーザ顕微鏡と同等な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています）
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株式会社ワイ・ドライブ
