株式会社ワイ・ドライブ

比類なき高視野・高分解能な干渉型3Dレーザー走査顕微鏡(視野域:30x50mm)

最終更新日: 2018/10/03

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2018/02/03

他に比類なき高視野・高分解能を実現した、干渉型3Dレーザー走査顕微鏡(視野域:30x50mm・分解能:50nm)
レーザ走査を用いた初めての干渉計測
 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nmの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7000)
  サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
  走査範囲は30mm×50mm、モニター上で拡大観察可能
  セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
  干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7500)
  円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-8000)
  非接触で微細な干渉縞計測可能。
  交換レンズは、5mm、10mm、26mm走査レンズ、特注可能
  通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます

これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能1μm 3D‐レーザ走査イメージャ
5×50mmの範囲を3D形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です   

関連情報

比類なき高視野・高分解能な干渉型3Dレーザー走査顕微鏡
比類なき高視野・高分解能な干渉型3Dレーザー走査顕微鏡 製品画像

レーザ走査を用いた初めての干渉計測
 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nmの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7000)
  サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
  走査範囲は30mm×50mm、モニター上で拡大観察可能
  セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
  干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7500)
  円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-8000)
  非接触で微細な干渉縞計測可能。
  交換レンズは、5mm、10mm、26mm走査レンズ、特注可能
  通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます

これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能1μm 3D‐レーザ走査イメージャ
5×50mmの範囲を3D形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です   

FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 製品画像

超広視野レーザ走査イメージヤ原理図(レーザ顕微鏡と同等な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています)

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