FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比５倍高速・高解像度、超広視野共焦点型・高分解能１μｍ
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50ｍｍ範囲を３Ｄ形状計測できる 計測時間：１μｍ分解能 約３５秒 5μｍ分解能 約１０秒 ●計測幅：0.8μｍ 深さ：５nm
●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。
レーザ走査イメージャの特徴
・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観察装置(照明装置がいらない)
・広い観察領域(顕微鏡の１００倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンス
・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載)
・概略仕様
走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒
レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり)
・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です
超広視野レーザ走査イメージヤ原理図（レーザ顕微鏡と同等な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています）
| 価格帯 | 1000万円 ~ 5000万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FPD各種部材、光学欠陥検査装置 |
| 用途／実績例 |
レーザ走査イメージャの用途 透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出 セラミックスなどの微小クラック欠陥の検出 蒸着膜の剥離などの観察 小径レンズ、小型金型の非接触形状計測大きい範囲の精密3Dデータの取得 微小な面の反りの精密計測 大きな範囲の精密な干渉縞での計測、傷検査その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察 |
関連ダウンロード
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社ワイ・ドライブ
