ランニングコストを抑制可能！当社の真空蒸着装置に接続できます
『Sagami』は、当社の従来構造から大きく設計変更することにより
コストダウンを実現したグローブボックスです。
基板搬送レベル1242mm、最大フランジ開口径 φ265mmの規格に合えば
他社製の真空装置などに接続が可能。
当社のグローブボックスは特注設計を得意とする真空装置のエンジニアが
お客様のご要求をお聞きしながら細かく設計しております。
お困りのことがあればご遠慮なくお問い合わせください。
【特長】
■低価格
■妥協しない性能
■N2ガスに対する安全性
■拡張性
■ランニングコストの低減
■オプション
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【性能詳細】
■ボックス内の環境：酸素濃度≦5PPM/露点≦5PPM(-64℃以下)
■触媒の再生機能：あり、PLC制御
■前面樹脂パネル内側を特殊コーティングすることにより耐溶剤性向上、静電防止を実現
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ボックス内の環境：酸素濃度≦5PPM/露点≦5PPM(-64℃以下)
■触媒の再生機能：あり、PLC制御
■前面樹脂パネル内側を特殊コーティングすることにより耐溶剤性向上、静電防止を実現
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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株式会社エイエルエステクノロジー
