コーター Coater 製品カタログ | カタログ | エイ・エス・エイ・ピイ

2インチ～12インチ（12.7～300mm）まで装置製作は対応可能です。
ウェハに応じてFOUP（フープ）対応やキャリアの製作なども行います。

Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。

開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。

【主な仕様例】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組/CUP
■エッジ・バックリンス：各1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

【主な仕様例】
■スピン塗布ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

【主な仕様】
■スピン塗布ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組/CUP
■バック・エッジリンス：各1組/CUP
■高温ベークユニット：1組（Max400℃）
■低温ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）