最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です！
【特長】
■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い）
■反りウェハの搬送も可能！
■低価格を実現
■自動ウェハサイズ認識システム
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ
ロボットを使わず、高スループットを実現！ベルト搬送でのスピンコーターです。
トラックシステム（ベルト搬送）のため反りウェハの搬送も問題なく行えます。
ロボットは搬送フローの自由度が高いですが、塗布・ベークと決まった搬送フローであれば、並列の搬送システムを使用することで大量処理が可能です（量産向け）
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。
フルオート機でも生産量に合わせたラインアップをご用意しております。
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：2組
■装置サイズ：（例）1800×1000×1400(Φ4"本体)
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | ご希望の仕様により提示させていただきます。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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