最終更新日:
2024-05-16 17:16:59.0
各種真空システム搭載に好適な真空計
■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。
優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。
■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、
大気圧から高真空まで広い測定圧力範囲を持つコンビネーションゲージです。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【キャパシタンスゲージの特長】
■高精度で安定した圧力測定
■質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト
■消費電力0.5W
【コールドカソードピラニゲージの特長】
■大気圧から高真空まで、広い圧力範囲を1 台で安定した圧力測定が可能
■1台2役でコスト低減
■独自の光トリガ機構を採用し測定停止を低減
■幅広いプロセスに対応
■メンテナンス可能で低ランニングコスト
■メンテナンスは部品交換のみ
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
