最終更新日:
2023-01-23 16:30:31.0
ポリイミド樹脂を使用!最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えることが可能
『超高真空L型ポリイミドバルブ』は、10^-8Pa程度の超高真空領域まで
使用できる製品です。
真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用。
150℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。
また、バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも
オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用しています。
【特長】
■10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できる
■優れた許容加熱性
■ガス放出の少ないシール材
■小さな締付けトルク
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■951-7120
■951-7145
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社