レジスト剥離洗浄装置 ※テスト可能機種あり循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置
・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。
【オプション機能】
○漏洩センサー
○排気圧センサー
○非常停止スイッチ
○一時停止スイッチ（自動メカ付）
○扉センサー（自動メカ付）
○圧力スイッチ
○温度センサー（恒温度仕様）
○自動消火システム
○パトライト
○網入りガラス又は強化ガラス
○爆圧ハッチ
○各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もございます
※当社の東京テストセンター（東京都墨田区）にて、テストを実施頂けます。（オンライン対応可）
※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造工程、電子材料製造工程、等 |
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レジスト剥離洗浄装置 ※テスト可能機種あり
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社ダルトン
