株式会社ダルトン

レジスト剥離洗浄装置 ※テスト可能機種あり

最終更新日: 2022-05-11 20:05:58.0

  • カタログ

循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置

・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。

【オプション機能】
○漏洩センサー
○排気圧センサー
○非常停止スイッチ
○一時停止スイッチ(自動メカ付)
○扉センサー(自動メカ付)
○圧力スイッチ
○温度センサー(恒温度仕様)
○自動消火システム
○パトライト
○網入りガラス又は強化ガラス
○爆圧ハッチ
○各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もございます。

※当社の東京テストセンター(東京都墨田区)にて、テストを実施頂けます(オンライン対応可)
※詳しくはPDF(カタログ)をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。

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価格帯 お問い合わせください
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用途/実績例 半導体製造工程、電子材料製造工程、等

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