最終更新日:
2020-12-09 12:12:09.0
ダイシングフレームモデル！10msec/イメージの高速取り込みにより高い処理能力を実現
『CI200D/CI300D』は、パワーデバイス、フォトデバイス、光学フィルタ
LED他のウエハダイシング後に発生する欠け・クラック・キズ・異物等の
欠陥を外観検査する装置です。
ダイシングフレーム上の個片化されたチップを自動認識し、個片毎に
高精度な欠陥検査を実施。
結果に基づき、良品・不良品の判定をし、マップデータとして出力します。
【特長】
■ダイシングフレーム上の個片化されたチップを自動認識
■個片毎に高精度な欠陥検査を実施
■結果に基づき、良品・不良品の判定をし、マップデータとして出力
■製品に現れる様々な欠陥モードを捉える照明条件が設定できる
■MAX20条件の照明設定を可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■10msec/イメージの高速取り込みにより高い処理能力を実現
■ダイシング時に発生するズレに影響されない検査を実現
■チップ毎に異なるスクライブTEGに対応した画像処理機能を搭載
■マガジンを2セット設置可能とすることで段取性を向上
■複数の照明を組合わせることで、位置決め・欠陥検出に好適な条件が設定可能
■双腕ロボットにすることで、フレームチェンジ時間を最小化
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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