株式会社安永

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積層セラミックス用グリーンシート3D外観検査装置『FV53C』

最終更新日: 2022-10-06 14:14:14.0
グリーンシートに印刷された電極パターン不良を3Dスキャンで高精度に検出します。

電極パターンの凹凸、厚み不良の他、パターンの太り、細り、シミ、異物不良を検出します。
またパターンの位置度検査が可能であり、グリーンシートの積層管理にご使用いただけます。
積層品質向上、歩留まり向上にぜひご検討ください。

【特長】
■パターン高さやパターンの凹凸検査(高精細3D検査)
■微細な欠陥やパターンの寸法検査(高精細2D検査)
■グリーンシート毎のパターン位置度管理
■積層デバイスの歩留り向上に貢献します

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様】
■ハンドリング仕様
・手置きタイプ
・自動搬送タイプ
 ※前後工程に合わせてカスタマイズ可能
■対象ワーク
・積層セラミックス用グリーンシート
・シートサイズ:□100mm~□500mm程度
 ※シートサイズに応じてカスタマイズ可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【検査項目】
<欠陥検査>
■シート部
・キズ、異物、スクラッチ、変色、汚れ、シミ
■パターン部
・パターン上異物、パターン断線、パターンショート

<寸法検査>
■パターン高さ・断面積(3D検査)
■パターン幅
■パターン位置度

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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