最終更新日:
2020-11-03 09:11:50.0
小型で限られた取付けスペースに対応する超高精度インクリメンタルリニアエンコーダ
■特長
・超小型形状
・極めて小さい内挿精度
・高速制御と長尺測定用
・リミットスイッチとホーミング機能
・ステータスLED搭載
■仕様
・信号周期: 4μm
・精度等級: ±1μm、±3μm
・内挿精度: ±4nm
・測定長: 最長3040mm
・インターフェース: 1Vpp、TTL
基本情報
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価格帯 | お問い合わせください |
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型番・ブランド名 | LIP 6000シリーズ |
用途/実績例 | 半導体産業用製造装置および計測機器、高精度計測装置、FPD製造装置、リニアモータ搭載機 |
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