ハイデンハイン株式会社

超高精度オープンタイプリニアエンコーダ LIP 6000シリーズ

最終更新日: 2020-11-03 09:11:50.0
小型で限られた取付けスペースに対応する超高精度インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長
・超小型形状
・極めて小さい内挿精度
・高速制御と長尺測定用
・リミットスイッチとホーミング機能
・ステータスLED搭載


■仕様
・信号周期: 4μm
・精度等級: ±1μm、±3μm
・内挿精度: ±4nm
・測定長: 最長3040mm
・インターフェース: 1Vpp、TTL

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基本情報

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型番・ブランド名 LIP 6000シリーズ
用途/実績例 半導体産業用製造装置および計測機器、高精度計測装置、FPD製造装置、リニアモータ搭載機

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