最終更新日:
2020-11-03 09:14:07.0
最小分解能31.25pmの超高精度インクリメンタルリニアエンコーダ
■特長
・極めて高い位置安定性
・高速制御(2m/s)と長尺対応(最長3m)
・低ポジションノイズ
・大きな取付け公差により容易な取付け
・各種インターフェース対応
■仕様
・信号周期: 0.512μm
・精度等級: ±1μm、±3μm
・最小分解能: 31.25pm
・測定長: 最長3040mm
・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、1Vpp
基本情報
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型番・ブランド名 | LIP 200シリーズ |
用途/実績例 | ウェハー検査装置、超精密加工機、高精度計測装置、FPD製造装置 |
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