ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過！基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査します
『Six-3000』は、ウェーハ上のバンブを自動で検査、判定を行う
X線自動検査装置です。
ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの
直径（面積）を求め、基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査。
X線源にはマイクロフォーカスX線管を用いてX線受像部にはX線デジタル
カメラを採用し、高解像度の画像を抽出。高精度ボイド検査が可能です。
この他に、シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置『X-CAS-2』も
ご用意しております。
【Six-3000特長】
■ウェーハ上のバンプを自動で検査、判定を行うX線自動検査装置
■ウェーハ内部のボイド（気泡）をX線を用いて透過
■基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査
■X線源にはマイクロフォーカスX線管を使用
■X線受像部にはX線デジタルカメラを採用し、高解像度の画像を抽出
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【X-CAS-2特長】
■ウェーハの抵抗値に関係なく検査が可能
■検査対象シリコンウェーハのサイズは12インチ、8インチ
■X線作業主任者などの特別な資格は必要なし
■X線は完全に遮断されているため、安全に使用できる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ウェーハの抵抗値に関係なく検査が可能
■検査対象シリコンウェーハのサイズは12インチ、8インチ
■X線作業主任者などの特別な資格は必要なし
■X線は完全に遮断されているため、安全に使用できる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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X線ウェーハバンプ自動検査装置『Six-3000』
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株式会社アイビット
