世界最小クラスのX線焦点寸法！6軸制御により高機能観察や自動検査が可能です
当製品は、X線焦点寸法0.25μmの高解像度を持つ解析用X線観察装置です。
160kV、0.2mA、0.25μm開放型マイクロフォーカスX線管や
透過型ターゲットを採用。
6軸制御により高機能観察や自動検査が可能となっております。
【特長】
■160kV、0.2mA、0.25μm開放型
■マイクロフォーカスX線管採用
■世界最小クラスのX線焦点寸法（0.25μm）
■X線機何学倍率：2,000倍
■透過型ターゲットを採用
■280万画素X線デジタルI.I管採用
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他特長】
■6軸制御により高機能観察や自動検査が可能
■360°回転ターンテーブル付、サンプル位置自動修正
■カメラ60°傾斜機能付き、サンブル位置自動修正
■自動検査機能、ボイド検査、ブリッジ検査
■PC内蔵、24インチLCD、キーボード付属
■12インチシリコンウエハー対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■6軸制御により高機能観察や自動検査が可能
■360°回転ターンテーブル付、サンプル位置自動修正
■カメラ60°傾斜機能付き、サンブル位置自動修正
■自動検査機能、ボイド検査、ブリッジ検査
■PC内蔵、24インチLCD、キーボード付属
■12インチシリコンウエハー対応
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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