実績：
MEMSセンサ（圧力センサ、加速度センサ、流量センサ、赤外線センサ、音響センサ など）
MEMSアクチュエータ（マイクロミラー、RF MEMS など）
各種半導体（IC、パワーデバイス など）
光学素子（アパーチャ、レンズ など）
機能構造（poly-Si TSV など）
加工場所：
オムロン株式会社 野洲事業所（滋賀県野洲市）
～ 8インチ半導体ライン 及び 8インチMEMSライン ～
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
MEMSセンサ（圧力センサ、加速度センサ、流量センサ、赤外線センサ、音響センサ など）
MEMSアクチュエータ（マイクロミラー、RF MEMS など）
各種半導体（IC、パワーデバイス など）
光学素子（アパーチャ、レンズ など）
機能構造（poly-Si TSV など）
加工場所：
オムロン株式会社 野洲事業所（滋賀県野洲市）
～ 8インチ半導体ライン 及び 8インチMEMSライン ～
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
