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関連情報
【装置スペック】
■冷却機能付トリプルイオンミリング装置
・最大試料サイズ:50×50×10mm
・最大加工幅:4mm
・ピンポイント位置精度:10~20μm
・冷却機能:-150℃まで
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■冷却機能付トリプルイオンミリング装置
・最大試料サイズ:50×50×10mm
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・ピンポイント位置精度:10~20μm
・冷却機能:-150℃まで
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【適応対象】
■ICパッケージ、実装・接合部品、実装基板、LSIデバイス、LCD薄膜、
⾦属表⾯状態、結晶粒の観察・分析など
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