最終更新日:
2020-11-12 09:24:49.0
標準スペクトルと比較することで結合状態を推定！EPMAによる状態分析をご紹介
EPMAによる状態分析では、酸化物やケイ酸塩の化学結合状態（イオン価、
結晶構造、配位数）の異なりから、特性X線ピーク波長に変化（シフトや波形）が
生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。
2種類の銅酸化物の識別において、黒色CuOと赤色Cu2Oの色彩による識別が
困難な場合、特に電子顕微鏡が必要なミクロな対象物に対して、EPMAによる
酸化状態の把握が可能です。
また、Al表面の薄い酸化層の測定には最表面分析手法のXPSが有効ですが、
異物等の微小物や塊状物、バルク、複合材等に対して、EPMAによる酸化状態の
把握ができます。
【装置仕様】
■日本電子（株）製 Jeol-8200
■分析方式：波長分散型X線分析（WDX）
■分析可能元素：B～U
■エネルギー分解能：20eV（EDXは約130eV）
■検出限界：0.01％～
■最大試料寸法：100x100mm
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