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関連情報
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【装置仕様】
■日本電子(株)製 Jeol-8200
■分析方式:波長分散型X線分析(WDX)
■分析可能元素:B~U
■エネルギー分解能:20eV(EDXは約130eV)
■検出限界:0.01%~
■最大試料寸法:100×100mm
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■日本電子(株)製 Jeol-8200
■分析方式:波長分散型X線分析(WDX)
■分析可能元素:B~U
■エネルギー分解能:20eV(EDXは約130eV)
■検出限界:0.01%~
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【EDX分析結果】
■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
下層のNiが検出されている
■加速電圧を上げると何故、下層の情報を検出するのか、モンテカルロ
シミュレーションにて確認
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【分析例】
<錠剤表面の元素分析>
■2×2や3×3など任意に測定範囲を分割し、測定することによって、広範囲の測定が可能になる
■高低差があるため、SEM-EDXでの測定は局所的になってしまい、錠剤表面の元素分布の把握が困難
<面分析(3×3mm範囲でSiの面分析)>
■通常測定では試料中央の凸部にフォーカスが合わず正しい分布が得られない
■ガイドネットマップ法を用いることで、高低差の影響を受けることなく正しい分布を得ることができた
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■2×2や3×3など任意に測定範囲を分割し、測定することによって、広範囲の測定が可能になる
■高低差があるため、SEM-EDXでの測定は局所的になってしまい、錠剤表面の元素分布の把握が困難
<面分析(3×3mm範囲でSiの面分析)>
■通常測定では試料中央の凸部にフォーカスが合わず正しい分布が得られない
■ガイドネットマップ法を用いることで、高低差の影響を受けることなく正しい分布を得ることができた
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株式会社アイテス