最終更新日:
2020-11-12 09:04:32.0
キャピラリーを用いて表面張力によってサンプリング!FT-IR分析が可能となりました
従来、液状異物のサンプリングは非常に困難とされて来ました。
FT-IR分析のための液体異物サンプリング技術では、キャピラリーを
⽤いて表⾯張⼒によってサンプリングし、FT-IR分析が可能です。
【サンプリング手順】
■基板上の液体異物
■キャピラリーによるサンプリング
■Siウェハ上に液体を載せ替えFT-IR分析
■キャピラリーにてサンプリング中
■Siウェハに載せ替え
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基本情報
【液体試料の分析例(⽪脂)】
■液体サンプリングを⾏い、Siウェハ上で分析した皮脂のFT-IRスペクトル
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