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関連情報
■特徴
1.測定方法
イメージでデータ収集し、ピクセル単位でスペクトル表示
2.測定領域
透過法/反射法 175um、ATR法/35um
3.空間分解能(ピクセルサイズ)
透過法/反射法 5.5um、ATR法 1.1um
1.測定方法
イメージでデータ収集し、ピクセル単位でスペクトル表示
2.測定領域
透過法/反射法 175um、ATR法/35um
3.空間分解能(ピクセルサイズ)
透過法/反射法 5.5um、ATR法 1.1um
■さらに強化されたマイクロサンプリングツール
新規導入されたマイクロサンプリングツールは
顕微鏡下でマニュピレータを用い
正確に狙った異物を捕らえます
■5umに満たない微小異物でも
多数集めてFT-IRにて測定することが可能です
新規導入されたマイクロサンプリングツールは
顕微鏡下でマニュピレータを用い
正確に狙った異物を捕らえます
■5umに満たない微小異物でも
多数集めてFT-IRにて測定することが可能です
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【分析対象物の例】
■オイル
・各種成分の定性
■プラスチックやフィルム、ゴム製品、基板等
・添加剤や残存溶剤等の定性分析(ヘッドスペース、又はパイロライザー)
・分解温度での発生ガス分析から、ポリマー種を推定(パイロライザー)
■液晶
・サンプル間での比較により、微量不純物を定性
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■オイル
・各種成分の定性
■プラスチックやフィルム、ゴム製品、基板等
・添加剤や残存溶剤等の定性分析(ヘッドスペース、又はパイロライザー)
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【液体試料の分析例(⽪脂)】
■液体サンプリングを⾏い、Siウェハ上で分析した皮脂のFT-IRスペクトル
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■液体サンプリングを⾏い、Siウェハ上で分析した皮脂のFT-IRスペクトル
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【多層膜中に埋もれた異物の掘り出し】
■多層薄膜中の異物
■⾯層の切り取り
■Siウェハ上に載変えサンプリングFT-IR分析
■超音波振動する切削刃を動かして切削
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【その他の特長】
<観察装置例>
■レーザーマイクロスコープ
■X線CT
■特殊SEM(ULTRA55)
■FIB-SEM
<信頼性試験装置例>
■液槽冷熱試験装置
■気槽冷熱試験装置
■恒温恒湿試験装置
■プレッシャークッカー
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■レーザーマイクロスコープ
■X線CT
■特殊SEM(ULTRA55)
■FIB-SEM
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当社は半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える
様々なサービスを提供しております。
製品開発、不良・故障解析、信頼性評価などでお悩みの方はぜひご相談ください。
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【EDX(EDS)の特長】
■微小領域の元素分析
■バルク試料の分析
■SEMとの併用が可能
■元素マッピング
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■SEMとの併用が可能
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株式会社アイテス