最終更新日:
2020-11-11 17:25:41.0
試料の観察や元素分析が可能！半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、生物分野でも活用できます
当社では、日立ハイテク社製の卓上型SEM(電子顕微鏡)『TM3030Plus』を
取り扱っています。
SEM観察が一般化されて半世紀。様々な分野にてSEM観察は重要な観察手段と
なっています。
卓上型SEMの"帯電軽減モード"なら、FE-SEMでは観察できない試料も観察、
分析が可能。半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、
生物分野でも活用できます。
【特長】
■半導体、電子部品などの導電性のある試料は主に通常/導電体モードで
SEM観察がお勧め
■プラスチック、紙、ゴム、セラミックスなど導電性のない試料や
水分・油分を含む生物、などの観察は表面・通常/帯電防止モードでの
SEM観察がお勧め
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】
■加速電圧：5kV(表面)、15kV(通常、分析)
■最大試料サイズ：70mm
■最大試料厚さ：50mm
■電子銃：タングステンフィラメント
■検出器
・高感度半導体型反射電子検出器
・高感度低真空二次電子検出器
■観察モード
・導電体(分析モード)
・標準
・帯電軽減(低真空)
■分析装置：BrukerAXS社製 QUANTAX Xflash 430H
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体、電子部品分野のみならず、ライフサイエンス、生物分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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