最終更新日:
2021-10-26 13:10:42.0
積層基板では各層毎の情報を得ることが可能！測長ツールを用いることで長さを測定できます
斜めCTの最大のメリットは非破壊でCT観察できることです。
平面情報を取得することに適しており、積層基板では各層毎の情報を
得ることが可能。
また、測長ツールを用いることで長さを測定することもできます。
当社が行った、測定結果は光学顕微鏡像の測定結果に対し約7～14%の
差が見られましたが、非破壊で内部構造を把握したいという場合には
有効ではないか思われます。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。
【特長】
■非破壊でCT観察できる
■平面情報を取得することに好適
■積層基板では各層毎の情報を得ることが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【積層基板の観察事例（斜めCT観察）】
■Cheetah EVOでは、凹凸が少なく大きさが200mmほどの試料であれば破壊することなく、
そのままCT観察することが可能
■X線による透過観察では、斜めCTで像を取得することで各層のパターンを確認することが可能
■測長ツールを用いることで長さを測定することもできる
■測定結果は光学顕微鏡像の測定結果に対し約7～14%の差が見られたが、非破壊で内部構造を
把握したいという場合には有効
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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