EPMAは特長の一つに、ガイドネットマップ法があります。
SEM-EDXでは測定範囲が狭く、湾曲試料では面分析が正しく測定できないことが
ありますが、EPMAのガイドネットマップ法を用いることで、広範囲の分析が
可能になります。
隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、⼀括して表示するための手法で、
高低差が不均一な面に対して測定を行ったり、大きな面の測定を行うときに使用します。
【ガイドネットマップ法の特長】
■隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、
⼀括して表示するための手法
■高低差が不均⼀な面に対して測定を行ったり、
大きな面の測定を行うときに使用
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基本情報
【分析例】
<錠剤表面の元素分析>
■2×2や3×3など任意に測定範囲を分割し、測定することによって、広範囲の測定が可能になる
■高低差があるため、SEM-EDXでの測定は局所的になってしまい、錠剤表面の元素分布の把握が困難
<面分析(3×3mm範囲でSiの面分析)>
■通常測定では試料中央の凸部にフォーカスが合わず正しい分布が得られない
■ガイドネットマップ法を用いることで、高低差の影響を受けることなく正しい分布を得ることができた
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