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EPMA分析

最終更新日: 2023-01-12 17:18:04.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

EPMA分析
EPMA分析 製品画像
【装置仕様】
■日本電子（株）製 Jeol-8200
■分析方式：波長分散型X線分析（WDX）
■分析可能元素：B～U
■エネルギー分解能：20eV（EDXは約130eV）
■検出限界：0.01％～
■最大試料寸法：100×100mm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度
SEM-EDX分析時の加速電圧の違いによる検出感度 製品画像
【EDX分析結果】
■加速10kVではAuめっき下層のNiは検出されていないが、加速電圧12kV以上だと
　下層のNiが検出されている
■加速電圧を上げると何故、下層の情報を検出するのか、モンテカルロ
　シミュレーションにて確認

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガイドネットマップ法を用いたEPMA分析例
ガイドネットマップ法を用いたEPMA分析例 製品画像
【分析例】
＜錠剤表面の元素分析＞
■2×2や3×3など任意に測定範囲を分割し、測定することによって、広範囲の測定が可能になる
■高低差があるため、SEM-EDXでの測定は局所的になってしまい、錠剤表面の元素分布の把握が困難
＜面分析（3×3mm範囲でSiの面分析）＞
■通常測定では試料中央の凸部にフォーカスが合わず正しい分布が得られない
■ガイドネットマップ法を用いることで、高低差の影響を受けることなく正しい分布を得ることができた

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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