ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2014において、試験時のデバイス付近の相対湿度は
30%未満にすることを要求されています。
確認方法は、サンプル設置近傍の2ヶ所に温湿度センサーを設置して温度・
湿度を常時モニターし、相対湿度が30%未満となった時点で試験開始。
AEC規格においても2019年の改訂でANSI/ESDA/JEDEC JS-002に準拠すると明記され、
低湿度環境の要求は今後も高まってくると見込まれます。
【CDM試験の主要規格の湿度要求】
■ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018:相対湿度30%未満
■AEC-Q100-011 Rev-D・AEC-Q101-005 Rev-A:相対湿度30%未満
■JEITA ED-4701/302A(試験方法305D):周囲温度25℃±5℃
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基本情報
【仕様】
■湿度制御:ドライエア(露点温度-20℃)により湿度30%未満を実現
■確認方法
・サンプル設置近傍の2ヶ所に温湿度センサーを設置して温度・湿度を常時モニター
・相対湿度が30%未満となった時点で試験開始
■試験装置:CDM SIMULATOR HED-C5002
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