最終更新日:
2024-04-19 16:41:53.0
パターン加工膜や多層膜加工膜など！膜厚につきましては、都度ご相談に応じます
当社で行う、「薄膜成膜加工」をご紹介いたします。
ダスト保証品も可能な「熱酸化膜」をはじめ、「Poly膜(ノンドープ、
ドープド)」や「チッカ膜(LP・プラズマ)」、「TEOS膜」など
様々な膜に加工。膜厚につきましては、都度ご相談に応じます。
ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。
【膜種(一部)】
■プラズマTEOS
■BPSG
■TiN
■Ti
■W
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の膜種】
■Wsi
■Al
■Cu
■Si3N4
■Poly-Si(doped)
■Poly-Si(non-doped)
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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