最終更新日:
2024-04-19 16:41:53.0
幅広い用途に期待！お客様の用途、スペックに合わせて供給いたします
当社では「サファイアウェハー」の製造販売を行っております。
モース硬度9を持ち、石英以上の高融解点(2.053℃)と耐プラズマ特性、
さらに光学的・化学的・電気的にも優れた特性を併せ持つ製品。
キロプロス、CZ、HEM他、各種製法のインゴット及びウェハーを、
お客様の用途、スペックに合わせて供給いたします。
【仕様(一部)】
＜2インチ＞
■材質：＞99.996％高純度アルミナ
■品質：欠陥フリー(No Crakes,Pores,Scratches,Inclusions,Twins)
■直径：50.8±0.1mm
■厚さ：430±15um
■結品方位：C-plain(0001)±0.25°
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の仕様】
＜2インチ＞
■1次オリフラ長さ：16.0±0.8mm
■1次オリフラ方位：A-plain(11-20)±0.2°
■TTV：10um以下
■LTV：10um以下
■TIR：10um以下
■BOW：10um以下
■Wrap：10um以下
■表面仕上げ：Epi-ready(Ra＜0.2nm)
■裏面仕上げ：研削仕上げ(Ra＝0.5～1.2nm)
■洗浄・梱包：クラス100クリーンルーム内にて真空・窒素封入梱包
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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