一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析_C0374

最終更新日: 2023-04-07 17:01:31.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/04/07
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能
TOF-SIMSは深さ方向に質量スペクトルの取得が可能であるため、各層の定性を行うことで非常に薄い層の成分の解析が可能です。
本事例では、ハードディスクを深さ方向に分析を行いました。その結果、表面に形成されるダイヤモンドライクカーボン(DLC)層は2層構造となっており、表面側では窒素が含まれるC層、奥側でCのみの層となっていることが分かりました。この方法を応用して、グラフェン膜の深さ方向分析も可能です。

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