一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析

最終更新日: 2023-04-07 16:53:51.0
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能

TOF-SIMSは深さ方向に質量スペクトルの取得が可能であるため、各層の定性を行うことで非常に薄い層の成分の解析が可能です。
本事例では、ハードディスクを深さ方向に分析を行いました。その結果、表面に形成されるダイヤモンドライクカーボン(DLC)層は2層構造となっており、表面側では窒素が含まれるC層、奥側でCのみの層となっていることが分かりました。この方法を応用して、グラフェン膜の深さ方向分析も可能です。
測定法:TOF-SIMS
製品分野:電子部品・製造装置・部品
分析目的:組成評価・同定・組成分布評価

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