一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

集束イオンビーム質量分析法_A0079

最終更新日: 2021-10-07 17:51:39.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/10/07
FIB-MS :Focused Ion Beam Mass Spectrometry
FIB-MSは、SEM装置に搭載されたFIB(集束イオンビーム)とTOF型質量分析器を用いて、微小箇所の形状観察と元素イメージングを同時に行うことのできる手法です。

•固体材料の表面分析が可能
•EDXでは難しいLiなどの軽元素を評価可能
•Gaイオンを一次イオンに用いることで高い面分解能(数十nm)で評価可能
•検出下限は最小数ppm (元素による) と、EDXより微量な不純物元素分析に適用可能
•雰囲気制御ホルダーを用いることで大気暴露せず測定可能
•SEM装置に搭載されているため形態観察と元素分析が同一チャンバー内で実施可能

この資料では、適用例や原理、データ例などを紹介しています。


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