一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】撥水箇所の成分分析_C0686

最終更新日: 2023-02-03 10:26:44.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/2/3
TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です
密着不良などの不具合の原因を探るためには、ウエハやデバイスの表面の知見を得ることは重要です。今回、シリコンウエハ上に撥水箇所が確認されたため、TOF-SIMSで広域イメージングを実施しました。その結果、撥水箇所からはシリコーンオイル、CF系グリース、パラフィンオイルと推定される成分が確認されました。TOF-SIMSは通常500μm角までの測定視野となりますが、ステージを動かしながら測定することで、広域の分布評価を行えます。

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