設備のスーパークリーン環境確保
半導体の微細化で製造設備に求められる厳しいクリーン環境を、部屋と設備内の空気圧を微差圧制御することで効率的に実現するようになりました。
【特徴】
○オールインワン タイプでコンパクト化
○制御性を向上し高精度化
○操作性を向上
○利便性を向上
○通信機能を向上
○現地工事が容易
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 医薬業界に始まって、感染症研究所、病院、クリーンルーム内の高精度機器、そしてゴミ処理場などでの臭気拡散対策など |
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半導体製造工場事例[室圧制御機器]室圧コントローラ PECX
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岡谷精立工業株式会社