最終更新日:
2022-03-30 14:57:12.0
ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応
『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。
【特長】
■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。
■高分解能（サブミクロン 最小1nm）
■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
■半導体業界で豊富な実績
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【その他の特長】
■測定レンジ：2DW1000 50μm～8000μm (n=1)
2DW500 30μm～4000μm(n=1)
2DW250 15μm～2000μm(n=1)
■分解能：最大1nm(n=1)
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■Si,GaAs,SiC,サファイア等半導体ウェハー厚み測定 フイルム、樹脂、ガラス、液晶ギャップセル、太陽電池等の 厚み測定やドープウェハー測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、形状、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、ドープウエハ、不純物ウエハ、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単 |
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