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- 簡易実験用蒸着装置(EM-645型)
- シンプル コンパクト 高機能 実験、基礎研究に最適 ユーザーニーズに応じた柔軟にカスタマイズ 標準型蒸着装置
- 最終更新日:2019-12-13 14:19:46.0
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- 大型蒸着装置(AAH型 自動車部品用)
- 樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置 長尺樹脂成形品の成膜に最適 樹脂メタライズ・不連続膜形成 自動車部品の量産用標準型
- 最終更新日:2019-12-09 13:09:31.0
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- アークフィラメント式イオンプレーティング装置
- 緻密な酸化膜厚膜(~10μm)を高速形成。新開発イオン化機構搭載 CVD代替高密度イオンプレーティング装置
- 最終更新日:2020-04-06 14:05:03.0
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- 量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型)
- φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装置で、同基板台内±5%以内の優れた膜厚均一性を実現
- 最終更新日:2019-12-12 14:30:10.0
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- 超高真空スパッタリング装置(STM2323型)
- 先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空インラインシステム。豊富なオプションと柔軟な対応で要求に対応
- 最終更新日:2020-02-11 16:04:43.0
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- SDR型巻取式スパッタリング装置(RtoRタイプスパッタ装置)
- サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発~量産に対応。デモ機でプロセスサポート。
- 最終更新日:2020-05-13 09:34:23.0
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- バッチタイプSWPアッシング装置
- ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラジカル処理を実現。高性能プラズマアッシング装置
- 最終更新日:2019-08-07 11:17:59.0
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- 研究開発用スパッタリング装置
- コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装置 サンプルテスト&装置見学対応中
- 最終更新日:2019-12-16 11:43:20.0
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- プラズマエッチング装置「EXAM」サンプルテスト受付中
- コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテスト対応によるプロセスサポートが特徴のプラズマエッチング装置
- 最終更新日:2020-05-13 10:46:03.0
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- 標準バッチタイプスパッタリング装置(SRVシリーズ)
- 多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ
- 最終更新日:2020-02-11 16:02:29.0
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- 縦型真空アニール装置
- ウェハプロセス対応 本格量産システム アニール・シンター・ポリイミドキュア ミニバッチ+急速冷却機構でハイスループット対応
- 最終更新日:2019-08-06 15:43:52.0
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- ポリイミドキュア装置(300mmウェハ対応 クリーンベーク装置)
- 300mmウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基板にも対応。先端電子デバイス量産用熱処理装置
- 最終更新日:2020-09-04 10:25:00.0
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- 横型蒸着装置
- 両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着面の制御を可能に。水晶振動子、薄膜抵抗に独自プロセスを提供
- 最終更新日:2020-04-14 11:02:40.0
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- プラズマクリーニング装置「POEM」(プラズマクリーナー)
- 多機能型プラズマクリーニング装置。 サンプルテスト受付中 クリーニング・親水化対応、半田濡れ性向上、実装前処理に最適
- 最終更新日:2020-02-14 11:52:05.0
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- バッチ式真空半田付装置(フラックスレスリフロー 真空リフロー)
- パワーモジュールからウェハバンプまでフラックスレス・ボイドレスリフローを実現。新型登場でグレードUP! ※サンプルテスト対応中
- 最終更新日:2020-05-11 16:00:04.0