- 表面処理装置、エッチング・アッシング装置についてご紹介します。
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- ICPプラズマエッチング装置『SERIO』
- 平滑なエッチング面と高い加工精度を実現!サンプルテスト対応いたします!
- 最終更新日:2019-06-17 10:51:59.0
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- ICPメタルエッチング装置
- Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応!デモ機常設!装置見学、サンプルテスト対応中
- 最終更新日:2019-12-16 17:53:41.0
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- プラズマエッチング装置「EXAM」サンプルテスト受付中
- コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテスト対応によるプロセスサポートが特徴のプラズマエッチング装置
- 最終更新日:2020-05-13 10:46:03.0
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- 枚葉式プラズマエッチング装置「EXAM-Σ」
- ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプCtoCエッチング装置
- 最終更新日:2020-04-24 14:09:11.0
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- DLC除膜装置(精密金型用プラズマクリーナー)
- 非球面レンズのDLC膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置
- 最終更新日:2020-06-23 13:41:57.0
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- 水素プラズマクリーニング装置(イオンクリーニングタイプ)
- H2(水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効果で親水性・濡れ性向上。ドライ・常温処理の新表面洗浄技術
- 最終更新日:2021-11-25 14:55:19.0
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