上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
スラリー原液を希釈し研磨装置にスラリーを供給する装置です。
本装置はスラリー原液を希釈し研磨装置にスラリーを供給し、送液温度とpH値を制御
(オプション機能)するとともに、スラリー液を連続的に供給するための調合タンクと供給タンクを内蔵しています。
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合わせ下さい。
(オプション機能)するとともに、スラリー液を連続的に供給するための調合タンクと供給タンクを内蔵しています。
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合わせ下さい。
関連情報
CMPスラリー供給装置 P108
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【仕様】
○周囲温度:20℃~25℃
○周囲湿度:55%±15
○供給電源:200℃
○必要給水量:3L/min
○エア消費量:110L/min
お問い合わせ
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株式会社テクノメイト