上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ウエハ研磨用
当社独自の調合方式によりスラリーと純水を調合します＜特許取得済＞
ポンプを不要とし、当社従来比１５％以上のコストダウンを実現しました。
当社独自の加熱方式によりスラリーを加熱します＜特許取得済＞
高効率、ハイレスポンスの加熱を実現しました。
【特徴】
■冷凍機とヒーターの低容量化で装置容積は当社従来比６１％低減して供給流量も増大しました。
また、原液補給から供給可能までの所要時間を当社従来比で５２分⇒２２分に大幅短縮しました。
※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。
※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ポンプを不要とし、当社従来比１５％以上のコストダウンを実現しました。
当社独自の加熱方式によりスラリーを加熱します＜特許取得済＞
高効率、ハイレスポンスの加熱を実現しました。
【特徴】
■冷凍機とヒーターの低容量化で装置容積は当社従来比６１％低減して供給流量も増大しました。
また、原液補給から供給可能までの所要時間を当社従来比で５２分⇒２２分に大幅短縮しました。
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関連情報
連続式スラリー供給装置 P85
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【仕様】
〇スラリー：コロイドシリカベースPH11
〇希釈倍率：10、15、20倍
〇PH制御：PH10～11±0.2
〇温度制御：20～40±0.5℃
〇供給流量：1.5LPM ､0.3MPa
〇スラリータンク：20L 内蔵
〇アンモニアタンク：5L 内蔵
〇外形寸法：W1250*D580*H1400
〇重量：500Kg
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社テクノメイト
