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真空ポンプユニット P94
ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の
真空発生装置として使用される水封式ポンプ
【特徴】
○水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成
○電動機出力：1.45KW/1.85KW (50/60HZ)
○到達圧力：3.3kPa
○排気速度：48m3/h 、59ｍ3/h (50/60HZ)
○接続口径：25mm
○給水量：3.83LP、0.2〜0.5MPa
○重量：約50Kg
○外形寸法：D484×H218×W186
○騒音レベル：65dB/69dB (50/60HZ)
○電源電圧：185〜220V 3相Δ結線
○定格電流：6.4A/8.2A (50/60HZ)
○周囲温度：40℃
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
真空発生装置として使用される水封式ポンプ
【特徴】
○水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成
○電動機出力：1.45KW/1.85KW (50/60HZ)
○到達圧力：3.3kPa
○排気速度：48m3/h 、59ｍ3/h (50/60HZ)
○接続口径：25mm
○給水量：3.83LP、0.2〜0.5MPa
○重量：約50Kg
○外形寸法：D484×H218×W186
○騒音レベル：65dB/69dB (50/60HZ)
○電源電圧：185〜220V 3相Δ結線
○定格電流：6.4A/8.2A (50/60HZ)
○周囲温度：40℃
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
関連情報
真空ポンプユニット（装置組込型） P94
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【仕様】
○水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成
○電動機出力：1.45KW/1.85KW (50/60HZ)
〇到達圧力：3.3kPa
○排気速度：48m3/h 、59ｍ3/h (50/60HZ)
○接続口径：25mm
○給水量：3.83LP、0.2?0.5MPa
○重量：約50Kg
○外形寸法：D484×H218×W186
○騒音レベル：65dB/69dB (50/60HZ)
○電源電圧：185?220V 3相Δ結線
○定格電流：6.4A/8.2A (50/60HZ)
○周囲温度：40℃
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