上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
温風乾燥ユニット M49
対象となる装置より温風発生の指令を受け内蔵タイマーにより一定時間
温風を発生し､ウエハに乾燥用温風を供給するためのものである
【仕様】
○電源電圧 AC100V±10%､ 10A 50/60HZ
○電源接続ブレーカーの1次側に端子台を介さず直接接続する
○各部温度設定範囲及び上限温度リミッタ設定
○温風タイマー設定時間 : 0~10分
【安全仕様】
○温度コントローラが｢センサ異常｣や｢温度異常｣を検出した場合､温度コントローラの電源を切断し「運転異常」ランプを点灯する
○ノズルヒータ制御の故障による温度上昇を防ぐためヒータ出口に独立した温度計にてモニターし設定温度を超えたときは温度コントローラの電源を切断し｢温度異常｣ランプを点灯する
○ノズル先端温度を計測する温度計を内蔵する
○寸法：W200×D200×H375
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
温風を発生し､ウエハに乾燥用温風を供給するためのものである
【仕様】
○電源電圧 AC100V±10%､ 10A 50/60HZ
○電源接続ブレーカーの1次側に端子台を介さず直接接続する
○各部温度設定範囲及び上限温度リミッタ設定
○温風タイマー設定時間 : 0~10分
【安全仕様】
○温度コントローラが｢センサ異常｣や｢温度異常｣を検出した場合､温度コントローラの電源を切断し「運転異常」ランプを点灯する
○ノズルヒータ制御の故障による温度上昇を防ぐためヒータ出口に独立した温度計にてモニターし設定温度を超えたときは温度コントローラの電源を切断し｢温度異常｣ランプを点灯する
○ノズル先端温度を計測する温度計を内蔵する
○寸法：W200×D200×H375
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
関連情報
温風乾燥ユニット M49
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対象となる装置より温風発生の指令を受け内蔵タイマーにより一定時間
温風を発生し､ウエハに乾燥用温風を供給するためのものである
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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株式会社テクノメイト
